特种气体：指被应用在特定领域，对纯度、品种、性质有特殊要求的工业气体。根据不同的应用领域，特种气体又细分为标准气体、医疗气体、激光气体、食品气体、电光源气体、电子特气。其中，电子特气又细分成了掺杂用气体、外延用气体、离子注入气、刻蚀用气体。

掺杂用气体：四氟化碳、八氟环丁烷、八氟环戊烯等;

外延用气体：四氢化硅、二氯二氢硅 、四氯化硅、乙硼烷等;

八氟环丁烷：氟化砷、三氟化磷、磷化氢等;

刻蚀用气体：三氯化硼、乙硼烷、三氟化硼等;

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